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摘要：一种微机电振镜及其制作方法。该微机电振镜包括第一基板、第二基板和反射镜；第一基板包括衬底基板和位于衬底基板上的驱动机构；第二基板位于第一基板的一侧，且包括振镜载台、扭转梁和扭转挡板；反射镜位于振镜载台上；驱动机构包括静驱动结构、动驱动结构和驱动挡板，驱动挡板与动驱动结构相连，动驱动结构相对于静驱动结构可移动，驱动机构被配置为驱动动驱动结构相对于静驱动结构运动，并带动驱动挡板运动，驱动挡板的运动轨迹与扭转挡板相交，并被配置为通过扭转挡板驱动振镜载台绕扭转梁的轴线转动。由此，该微机电振镜可提供了一种新型的微机电振镜，并可简化工艺难度和降低成本。
主权项：1.一种微机电振镜，包括：第一基板，包括衬底基板和位于所述衬底基板上的驱动机构；第二基板，位于所述第一基板的一侧，且包括振镜载台、扭转梁和扭转挡板；反射镜，位于所述振镜载台上，其中，所述驱动机构包括静驱动结构、动驱动结构和驱动挡板，所述驱动挡板与所述动驱动结构相连，所述动驱动结构相对于所述静驱动结构可移动，所述驱动机构被配置为驱动所述动驱动结构相对于所述静驱动结构运动，并带动所述驱动挡板运动，所述驱动挡板的运动轨迹与所述扭转挡板相交，并被配置为通过所述扭转挡板驱动所述振镜载台绕所述扭转梁的轴线转动。
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百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 微机电振镜及其制作方法
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