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摘要：本发明提供了一种物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备，所述物镜的调试方法包括：获取物镜的当前像质、灵敏度矩阵及当前参数，输出可调镜片的若干初始调整量；将初始调整量编码作为个体，并输出初始化的种群；结合物镜的灵敏度矩阵，建立物镜的像质适应度函数，计算种群的像质适应度值；采用遗传算法，利用像质适应度函数，对种群进行迭代至种群成熟，并输出可调镜片基于当前像质的最优调整量；将最优调整量应用于物镜，获得物镜的优化像质。本发明中，将本实施例通过理论所获得最优调整量应用于物镜的调试，不仅可利用该最优调整量快速收敛像质，提高物镜的调试效率，还可简化物镜的调试流程，提高物镜的调试进程。
主权项：1.一种物镜的调试方法，所述物镜包括若干可调镜片，其特征在于，包括：S1：获取所述物镜的当前像质及灵敏度矩阵、若干所述可调镜片的当前参数，输出所述可调镜片的若干初始调整量；S2：将所述初始调整量编码作为个体，并输出初始化的种群；S3：结合所述物镜的灵敏度矩阵，建立所述物镜的像质适应度函数，计算所述种群的像质适应度值；S4：采用遗传算法，利用所述像质适应度函数，对所述种群进行迭代至所述种群成熟，并输出所述可调镜片基于当前像质的最优调整量；S5：将所述最优调整量应用于所述物镜，获得所述物镜的优化像质。
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百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备
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