龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型提供一种硅晶圆激光加工设备托盘结构，属于硅晶圆激光加工设备技术领域，包括安装座、旋转电机、转接陶瓷盘、陶瓷微孔托盘和微孔陶瓷板，安装座的上表面中央固定设置有旋转电机；抽气总管通过抽气组件将真空槽内抽真空，真空槽对陶瓷微孔托盘进行吸附，由于真空槽的直径不小于微孔陶瓷板，保证微孔陶瓷板被真空槽吸附时受力均匀，防止微孔陶瓷板被真空槽吸附时受力不均匀导致其产生纵向的抖动，从而提高了微孔陶瓷板的稳定性，提高了硅晶圆加工的精度，且可保证真空槽对微孔陶瓷板进行完全吸附，微孔陶瓷板从中央至四周均具备吸附力，从而保证微孔陶瓷板对放置于微孔陶瓷板上的硅晶圆吸附力，保证硅晶圆的稳定性，保证加工精度。
主权项：1.一种硅晶圆激光加工设备托盘结构，其特征在于，包括安装座1、旋转电机2、转接陶瓷盘3、陶瓷微孔托盘4和微孔陶瓷板5，所述安装座1的上表面中央固定设置有旋转电机2，所述旋转电机2的输出端安装有转接陶瓷盘3，所述转接陶瓷盘3的上方固定设置有陶瓷微孔托盘4，所述陶瓷微孔托盘4的中央固定设置有微孔陶瓷板5；所述转接陶瓷盘3的上方开设有真空槽301，所述真空槽301的底部中央贯穿设置有抽气总管302，所述抽气总管302上可拆卸的安装有抽气组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台金东龙成机械有限公司 一种硅晶圆激光加工设备托盘结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号