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摘要：本申请提供一种废气处理设备，属于废气处理的技术领域。废气处理设备包括：反应容器，其数量至少为两个；废气输送组件，包括主控制阀以及备用控制阀；主控制阀设有输入管路、主输出管路和连接管路，被配置为控制输入管路与主输出管路连通或输入管路与连接管路连通；连接管路与备用控制阀连接，且备用控制阀设有备用输出管路，被配置为控制连接管路与备用输出管路连通；其中，主输出管路连接于其中一个反应容器，备用输出管路连接于其中另一个反应容器。本申请提供的废气处理设备，在其中某一反应容器宕机时，可通过废气输送组件将废气输送至另一反应容器中继续处理，保证半导体生产线可持续稳定的运行。
主权项：1.一种废气处理设备，其特征在于，包括：反应容器，其数量至少为两个；废气输送组件，包括主控制阀以及备用控制阀；所述主控制阀设有输入管路、主输出管路和连接管路，被配置为控制所述输入管路与所述主输出管路连通或所述输入管路与所述连接管路连通；所述连接管路与所述备用控制阀连接，且所述备用控制阀设有备用输出管路，被配置为控制所述连接管路与所述备用输出管路连通；其中，所述主输出管路连接于其中一个所述反应容器，所述备用输出管路连接于其中另一个所述反应容器。
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权利要求：
百度查询： 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 废气处理设备
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