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倍缩光罩外壳及其处置方法 

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摘要:一种倍缩光罩外壳及其处置方法,倍缩光罩外壳包括:包括一第一表面的一基座;一盖,该盖包括一第二表面且安置于该基座上,其中该基座及该盖在之间形成一内部空间以包括一倍缩光罩;及一弹性体或凝胶材料层,该弹性体或凝胶材料层安置于该第一表面及该第二表面中的至少一者上,其中该弹性体或凝胶材料层安置于该基座与该盖之间且接触该基座或该盖。

主权项:1.一种倍缩光罩外壳,其特征在于,包含:一外部舱,围封一内部舱,其中该外部舱及该内部舱的每一者包含:包括一第一表面的一基座;及一盖,该盖包括一第二表面且安置于该基座上,其中该内部舱的该基座及该盖在之间形成一内部空间以包括一倍缩光罩,该外部舱的该盖及该内部舱的该盖中的每一者包含一顶部部分及自该顶部部分垂直延伸且在该顶部部分的一边缘的一侧向部分,该内部舱的该顶部部分及该侧向部分形成由一相同材料制成的一单一结构,该外部舱的该顶部部分及该侧向部分形成由一相同材料制成的一单一结构;一第一弹性体或凝胶材料层,该第一弹性体或凝胶材料层仅安置于该内部舱的该第一表面的一周边区域的一部分上;一第二弹性体或凝胶材料层,该第二弹性体或凝胶材料层仅安置于该内部舱的该第二表面的一周边区域的一部分上,使得该第一弹性体或凝胶材料层及该第二弹性体或凝胶材料层彼此互补;及一第三弹性体或凝胶材料层,该第三弹性体或凝胶材料层安置于该外部舱的该第一表面及该第二表面上。

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百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 倍缩光罩外壳及其处置方法

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