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一种基于超声激光耦合作用机制的微连接系统 

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摘要:本发明涉及微连接技术领域,提供一种基于超声激光耦合作用机制的微连接系统,包括:基座、超声波振动装置、定位机构、施压机构和激光发生装置;超声波振动装置设于基座,超声波振动装置包括振动部,振动部设有第一定位槽,第一定位槽用于固定待连接样品的下基底;定位机构设于基座,定位机构包括定位台,定位台上设有第二定位槽,第二定位槽用于固定待连接样品的上盖板。施压机构包括压块,压块用于伸入第二定位槽内对上盖板施加压力;激光发生装置包括激光发射头,激光发射头用于将激光发射至第二定位槽内或第二定位槽周围的区域。本发明解决了现有技术中,采用激光为热源的微连接技术无法保障微连接焊点力学性能,无法保证封装的气密性的缺陷。

主权项:1.一种基于超声激光耦合作用机制的微连接系统,其特征在于,包括:基座;超声波振动装置,所述超声波振动装置设于所述基座,所述超声波振动装置包括振动部,所述振动部设有第一定位槽,所述第一定位槽用于固定待连接样品的下基底;定位机构,所述定位机构设于所述基座,所述定位机构包括定位台,所述定位台上设有第二定位槽,所述第二定位槽用于固定待连接样品的上盖板;施压机构,所述施压机构包括压块,所述压块用于伸入所述第二定位槽内对所述上盖板施加压力;激光发生装置,所述激光发生装置包括激光发射头,所述激光发射头用于将激光发射至所述第二定位槽内或所述第二定位槽周围的区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京理工大学 一种基于超声激光耦合作用机制的微连接系统

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