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摘要：本发明涉及一种基于机器视觉的PVA薄膜应力检测方法及系统，属于薄膜应力检测技术领域。包括步骤：搭建测试平台，测试平台包括曲率测试组件、厚度测试组件和载物台；通过厚度测试组件测量样品厚度，通过曲率测试组件测试基底曲率，获取样品厚度和基底曲率变化量；基于测试中对PVA薄膜的热处理，将测试的基底曲率变化量输入修正后的Stoney公式计算应力。本发明通过搭建同时进行薄膜厚度测试和基底曲率测试的测试平台，提高了检测的实时性和高效性，通过机器视觉对采集测试图像并进行图像处理，避免了传统接触式测量可能对样品造成的物理损伤，实现样品厚度和基底曲率的精确测量，提高了应力计算的准确性。
主权项：1.一种基于机器视觉的PVA薄膜应力检测方法，其特征在于：包括以下步骤：搭建测试平台：测试平台包括曲率测试组件、厚度测试组件和载物台，将测试样品放置在载物台上，根据测试需求分别设置测试组件的组成结构；基底曲率测量：通过厚度测试组件测量样品厚度，通过曲率测试组件测试基底曲率，获取样品厚度和基底曲率变化量；应力计算：基于测试中对PVA薄膜的热处理，对Stoney公式进行修正，将测试的基底曲率变化量输入修正后的Stoney公式计算应力；所述基底曲率测量，包括以下步骤：测量样品厚度：通过厚度测试组件采用透射式光密度法测量样品厚度，启动厚度测试组件分别获取放置样品前后的入射、出射灰度图像，计算测试样品的透射光密度值；然后再用比尔朗伯定律将光密度值转化为样品厚度；测试样品曲率：通过曲率测试组件采用基底曲率法测试基底曲率，启动曲率测试组件捕捉反射光信号，收集并记录反射信号，得到相邻光斑之间的距离，转化为基底曲率变化量。
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