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摘要：本公开提供了一种薄膜厚度确定方法和薄膜厚度估计模型的训练方法。薄膜厚度确定方法包括：获取待测薄膜的初始反射光谱数据，其中，初始反射光谱数据与待测薄膜的薄膜厚度相关联；对初始反射光谱数据进行数据转换，得到目标反射光谱数据；将目标反射光谱数据输入至薄膜厚度估计模型，得到待测薄膜的薄膜厚度区间，其中，薄膜厚度估计模型是根据与薄膜厚度相关联的仿真光谱训练集，对候选薄膜厚度估计模型进行训练得到的；以及基于预设优化算法，根据薄膜厚度区间，确定待测薄膜的薄膜厚度，其中，预设优化算法包括基于渐进非凸性求解器的全局优化算法。
主权项：1.一种薄膜厚度确定方法，包括：获取待测薄膜的初始反射光谱数据，其中，所述初始反射光谱数据与所述待测薄膜的薄膜厚度相关联；对所述初始反射光谱数据进行数据转换，得到目标反射光谱数据；将所述目标反射光谱数据输入至薄膜厚度估计模型，得到所述待测薄膜的薄膜厚度区间，其中，所述薄膜厚度估计模型是根据与薄膜厚度相关联的仿真光谱训练集，对候选薄膜厚度估计模型进行训练得到的；以及基于预设优化算法，根据所述薄膜厚度区间，确定所述待测薄膜的薄膜厚度，其中，所述预设优化算法包括基于渐进非凸性求解器的全局优化算法。
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百度查询： 天津大学 薄膜厚度确定方法和薄膜厚度估计模型的训练方法
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