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摘要：本发明提供一种磁控溅射分温区加热装置，其包括温度控制仪和加热模块，加热模块包括带有加热丝的底座，受加热丝的加热作用的均热板，以及测量均热板温度的温度测量装置，加热模块的数量为两个以上，以形成两个以上的独立温区，温度控制仪可对多个加热模块同时进行独立操作；通过四个独立的加热模块同时工作，可以在一次靶材的使用过程中同时获得在不同衬底上、不同温度下沉积的薄膜，解决了磁控溅射使用中靶材的有效利用程度不高和磁控溅射的生长效率低的问题。
主权项：1.一种磁控溅射分温区加热装置，包括温度控制仪和加热模块，加热模块包括带有加热丝的底座，受加热丝的加热作用的均热板，以及测量均热板温度的温度测量装置，其特征在于，加热模块的数量为两个以上，以形成两个以上的独立温区，温度控制仪可对多个加热模块同时进行独立操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁控溅射分温区加热装置
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