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摘要：本发明涉及一种高分辨率探测器，包括准直前组件、外偏振分光棱镜组件、参考角锥棱镜组件、测量角锥棱镜组件、测量接收组件、电路板，准直前组件的出射光路传播方向与偏振分光棱镜组件相对，参考角锥棱镜组件设置于偏振分光棱镜组件的反射光路传播方向，测量角锥棱镜组件设置于偏振分光棱镜组件的透射光路传播方向，测量接收组件设置于偏振分光棱镜组件的返回光路传播方向；电路板设置于测量接收组件的出射光路端；该高分辨率探测器，实现参考光线和测量光线在外偏振分光棱镜组件中形成相位差的光线传输至测量接收组件中，实现了光学8细分的高分辨率正交信号输出，测量速度大大提高，可应用于数控机床、高端装备等高精度位置反馈场景。
主权项：1.一种高分辨率探测器，其特征在于：包括准直前组件1、外偏振分光棱镜组件2、参考角锥棱镜组件3、测量角锥棱镜组件4、测量接收组件5、电路板6，所述准直前组件1的出射光路传播方向与偏振分光棱镜组件2相对，所述参考角锥棱镜组件3设置于偏振分光棱镜组件2的反射光路传播方向，所述测量角锥棱镜组件4设置于偏振分光棱镜组件2的透射光路传播方向，所述测量接收组件5设置于偏振分光棱镜组件2的返回光路传播方向；所述电路板6设置于测量接收组件5的出射光路端。
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