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摘要：为了提供一种能够安全且低成本、容易制作的等离子处理装置，具备：处理室，其配置在真空容器的内部，在其内侧配置有处理对象的晶片，形成等离子；以及样品台，其配置在处理室内，在其上表面载置所述晶片，具有圆筒形，样品台具有：基材，其具有圆板形状；电介质制的膜，其覆盖基材的上表面；以及加热器层，其配置在电介质制的膜的内部。加热器层具备配置在具有矩形形状的多个区域的各个区域的多个膜状的加热器。多个区域的各个区域使所述矩形形状的一个边彼此与相邻的区域相对而配置。具有供电连接器，该供电连接器在基材的底部安装以及拆卸，具有圆筒形。供电连接器构成为与配置在所述多个区域的各个区域的多个膜状的加热器各自的一个部位电连接，供给来自直流电源的电力。包含布线构件，其在内部包含供给电力的多个布线，由与供电连接器的底部连接的树脂制的板状的构件构成。布线构件具有沿着所述基材的底面延伸的臂部。
主权项：1.一种等离子处理装置，其特征在于，具备：处理室，其配置在真空容器的内部，在其内侧配置有处理对象的晶片，形成等离子；以及样品台，其配置在所述处理室内，在其上表面载置所述晶片，具有圆筒形，所述样品台具有：基材，其具有圆板形状；电介质制的膜，其覆盖所述基材的上表面；以及加热器层，其配置在所述电介质制的膜的内部，所述加热器层具备：多个膜状的加热器，其配置在具有矩形形状的多个区域的各个区域，所述多个区域的各个区域使所述矩形形状的一个边彼此与相邻的区域相对而配置，所述等离子处理装置具有：供电连接器，其在所述基材的底部安装以及拆卸，具有圆筒形，所述供电连接器构成为与配置在所述多个区域的各个区域的所述多个膜状的加热器各自的一个部位电连接，供给来自直流电源的电力，所述等离子处理装置包含：布线构件，其在内部包含供给所述电力的多个布线，由与所述供电连接器的底部连接的树脂制的板状的构件构成，所述布线构件具有：臂部，其沿着所述基材的底面延伸。
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