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摘要:一种MOSFET器件,涉及半导体技术领域,包括:宽带隙外延片,所述宽带隙外延片包括宽带隙衬底和设置于所述宽带隙衬底上的宽带隙漂移层;阱区,位于所述宽带隙外延片内;重掺杂区,位于所述阱区内;JFET注入区,位于所述宽带隙外延片内,且与所述阱区相邻设置,所述JFET注入区的离子掺杂浓度大于所述宽带隙外延片的离子掺杂浓度;其中,所述JFET注入区的掺杂类型与所述重掺杂区的掺杂类型相同,与所述阱区的掺杂类型不同;第一注入区,位于所述JFET注入区内,所述第一注入区与所述JFET注入区掺杂类型不同。该器件能提高MOSFET器件的制备稳定性。
主权项:1.一种MOSFET器件,其特征在于,包括:宽带隙外延片,所述宽带隙外延片包括宽带隙衬底和设置于所述宽带隙衬底上的宽带隙漂移层;阱区,位于所述宽带隙外延片内;重掺杂区,位于所述阱区内;JFET注入区,位于所述宽带隙外延片内,且与所述阱区相邻设置,所述JFET注入区的离子掺杂浓度大于所述宽带隙外延片的离子掺杂浓度;其中,所述JFET注入区的掺杂类型与所述重掺杂区的掺杂类型相同,与所述阱区的掺杂类型不同;第一注入区,位于所述JFET注入区内,所述第一注入区与所述JFET注入区掺杂类型不同。
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百度查询: 湖南三安半导体有限责任公司 MOSFET器件
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