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摘要：本实用新型涉及电学输运测量技术领域，提出一种电学输运测量系统，包括：真空腔体；变温样品台，其布置在所述真空腔体内，所述变温样品台被配置为在电学输运测量过程中调节样品的温度；多个进气气路，其与所述真空腔体连接，其中多个所述进气气路被配置为向真空腔体中通入各不相同的气体；以及抽气系统，其与所述真空腔体连接，所述抽气系统被配置为从所述真空腔体中抽气以控制所述真空腔体内的压力。本实用新型能够方便快捷地使样品在室温附近进行变温操作，并且能够测量样品在不同气体环境、不同气压以及不同温度下的电学性能。
主权项：1.一种电学输运测量系统，其特征在于，包括：真空腔体；变温样品台，其布置在所述真空腔体内，所述变温样品台被配置为在电学输运测量过程中调节样品的温度；多个进气气路，其与所述真空腔体连接，其中多个所述进气气路被配置为向真空腔体中通入各不相同的气体；以及抽气系统，其与所述真空腔体连接，所述抽气系统被配置为从所述真空腔体中抽气以控制所述真空腔体内的压力。
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百度查询： 埃频(上海)仪器科技有限公司 一种电学输运测量系统
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