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测试机柜及测试系统 

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摘要:本发明涉及半导体制造技术领域,提供了一种测试机柜及测试系统,测试机柜包括:柜体和多个通用层板;各所述通用层板沿竖向位置可调的安装于柜体的内部;所述柜体包括位于其至少一侧的侧板组件,所述侧板组件包括多个沿竖向排列设置的活动侧板,所有侧板组件中的至少一个活动侧板开设有第一线孔,且各所述活动侧板可拆卸且位置可互换的设置。该机柜便可适用于不同的测试环境下、不同的配置需求的测试。一方面有利于降低生产加工难度,降低研发成本,降低用料,且降低管理难度,另一方面也使用方便,适用范围较广,利于基于使用场景的变化而现场调整测试机柜内的设备,提高使用灵活性。

主权项:1.一种测试机柜,其特征在于,包括:柜体和多个通用层板;各所述通用层板沿竖向位置可调的安装于柜体的内部;所述柜体包括位于其至少一侧的侧板组件,所述侧板组件包括多个沿竖向排列设置的活动侧板,所有侧板组件中的至少一个活动侧板开设有第一线孔,且各所述活动侧板可拆卸且位置可互换的设置。

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