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一种ICP光谱仪氩气缺气自动保护装置 

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摘要:本发明提供了一种ICP光谱仪氩气缺气自动保护装置,其可实现氩气的实时气量监测,并实现氩气缺气自动保护;包括:压力检测模块,用于检测采集氩气的气量压力;缺气保护模块,与所述压力检测模块相连接,用于将采集的气量压力与预设的安全气压阈值比较,当气量压力不大于安全气压阈值时,输出缺气异常保护信号;ICP控制PC端,与所述缺气保护模块相连接,用于在接收到缺气异常保护信号时,输出相应断电保护控制信号;RF射频电源模块,与所述ICP控制PC端、ICP进样系统均相连接,用于在接收到断电保护控制信号时,切断对所述ICP进样系统的功率输出。

主权项:1.一种ICP光谱仪氩气缺气自动保护装置,其特征在于:包括:压力检测模块,用于检测采集氩气的气量压力;缺气保护模块,与所述压力检测模块相连接,用于将采集的气量压力与预设的安全气压阈值比较,当气量压力不大于安全气压阈值时,输出缺气异常保护信号;ICP控制PC端,与所述缺气保护模块相连接,用于在接收到缺气异常保护信号时,输出相应断电保护控制信号;RF射频电源模块,与所述ICP控制PC端、ICP进样系统均相连接,用于在接收到断电保护控制信号时,切断对所述ICP进样系统的功率输出。

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