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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：腔室、喷嘴、供给配管、阀、温度检测部、及控制部。喷嘴向基板喷出处理液。供给配管对喷嘴供给处理液。阀能够切换成打开状态与关闭状态，所述打开状态使在供给配管内流动的处理液朝向喷嘴通过，所述关闭状态使自供给配管朝喷嘴的处理液的供给停止。温度检测部检测腔室内的处理液的温度。控制部基于处理液的温度来控制阀，并以基于处理液的累积热量成为规定值的方式控制处理液的喷出时间。累积热量表示代表投入至基板的处理液的热量的累积值的物理量。
主权项：1.一种基板处理装置，对基板进行处理，包括：腔室，收容所述基板；喷嘴，配置于所述腔室内，向所述基板喷出处理液；供给配管，对所述喷嘴供给所述处理液；阀，能够切换成打开状态与关闭状态，所述打开状态使在所述供给配管内流动的所述处理液朝向所述喷嘴通过，所述关闭状态使自所述供给配管朝所述喷嘴的所述处理液的供给停止；温度检测部，检测所述腔室内的所述处理液的温度；以及控制部，基于所述处理液的温度来控制所述阀，并以基于所述处理液的累积热量成为规定值的方式控制所述处理液的喷出时间，且所述累积热量以物理量表示，所述物理量代表投入至所述基板的所述处理液的热量的累积值，其中所述控制部以使所述阀自所述打开状态成为所述关闭状态的方式，基于喷出结束时间信息来控制所述阀，且所述喷出结束时间信息基于温度剖面图而预先规定，表示所述处理液的喷出结束时间，所述温度剖面图表示当对与所述基板相同的基板喷出与所述处理液相同的处理液时，所述相同的处理液的温度随时间推移发生的变化，所述喷出结束时间信息所示的所述喷出结束时间表示所述相同的处理液的温度的时间积分值变得与所述规定值相等的时间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置及基板处理方法
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