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申请/专利权人：无锡诚承电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体离子注入机晶片精准定位设备，包括注入机机体、支撑架、夹持机构、上料机构以及输送机构，其中，所述支撑架固定设置在所述注入机机体的一侧，所述支撑架上开设有滑轨，所述夹持机构滑动设置在所述滑轨中，所述上料机构滑动设置在所述夹持机构上方，所述输送机构设置在所述夹持机构的两侧用于输送晶片，所述夹持机构包括转盘一、转盘二、支撑座以及转轴，其中，所述转盘一滑动设置在所述支撑架上，所述转轴转动设置在所述转盘一上，所述转盘一上固定设置有用于驱动所述转轴转动的电机一，所述转盘二转动设置在所述转轴上，所述支撑座与所述转轴固定连接，所述转盘二上呈环形设置有多个用于支撑晶片的伸缩杆一。
主权项：1.一种半导体离子注入机晶片精准定位设备，其特征在于：包括注入机机体1、支撑架2、夹持机构3、上料机构4以及输送机构5，其中，所述支撑架2固定设置在所述注入机机体1的一侧，所述支撑架2上开设有滑轨21，所述夹持机构3滑动设置在所述滑轨21中，所述上料机构4滑动设置在所述夹持机构3上方，所述输送机构5设置在所述夹持机构3的两侧用于输送晶片；所述夹持机构3包括转盘一31、转盘二32、支撑座33以及转轴34，其中，所述转盘一31滑动设置在所述支撑架2上，所述转轴34转动设置在所述转盘一31上，所述转盘一31上固定设置有用于驱动所述转轴34转动的电机一，所述转盘二32转动设置在所述转轴34上，所述支撑座33与所述转轴34固定连接，所述转盘二32上呈环形设置有多个用于支撑晶片的伸缩杆一35，所述伸缩杆一35的输出端包裹有缓冲垫。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡诚承电子科技有限公司 一种半导体离子注入机晶片精准定位设备
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