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申请/专利权人：天津西美半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶片烘干设备，属于烘干技术领域，该烘干设备包括烘箱和收纳筐，所述烘箱内对称滑动安装支撑板，两个所述支撑板之间固定安装有支撑柱，两个所述支撑板距离最远一侧对称固定安装多个第一密封板，所述第一密封板一侧固定安装所述收纳筐，所述收纳筐的两侧为网状设置，所述收纳筐的一端滑动贯穿于所述烘箱一侧并固定安装第二密封板，所述烘箱内壁两侧固定安装多个烘干管，此装置在对晶片拿取时可同时对另一端收纳筐内的晶片进行烘干，同时收纳筐移出烘箱时，有效防止热气过多散出烘箱，从而提高了烘干的效率。
主权项：1.一种晶片烘干设备，其特征在于，包括烘箱和收纳筐，所述烘箱内对称滑动安装支撑板，两个所述支撑板之间固定安装有支撑柱，两个所述支撑板距离最远一侧对称固定安装多个第一密封板，所述第一密封板一侧固定安装所述收纳筐，所述收纳筐的两侧为网状设置，所述收纳筐的一端滑动贯穿于所述烘箱一侧并固定安装第二密封板，所述烘箱内壁两侧固定安装多个烘干管。
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权利要求：
百度查询： 天津西美半导体材料有限公司 一种晶片烘干设备
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