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一种半导体异质结生产车间转轮除湿系统 

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申请/专利权人:江苏源一工程科技有限公司

摘要:本实用新型提出一种半导体异质结生产车间转轮除湿系统,转轮除湿机组输出端通过送风主管与生产车间新风输入端连接,生产车间回风端通过回风主管与转轮除湿机组回风输入端连接,所述转轮除湿机组内从左到右依次设有初效过滤器段、第一加热段、第一表冷段、第二表冷段、第一转轮除湿段、第一回风混合段、中效过滤器段、第三表冷段、第一变频风机段、第二转轮除湿段、第二变频风机段,通过两次设置转轮除湿段大大提升气体除湿效果,设置第四表冷段将经过第二转轮除湿后的干热空气进一步降温至设定温度,同时设置第二加热段当第四表冷段过冷引起的低于设定温度值时起到辅助调节的作用,进一步提升车间内温度控制精度。

主权项:1.一种半导体异质结生产车间转轮除湿系统,包括转轮除湿机组1、控制柜,转轮除湿机组1与控制柜电性连接,其特征在于:室外新风与转轮除湿机组1新风输入端连接,转轮除湿机组1输出端通过送风主管2与生产车间3新风输入端连接,生产车间3回风端通过回风主管4与转轮除湿机组1回风输入端连接,所述转轮除湿机组1内从左到右依次设有初效过滤器段5、第一加热段6、第一表冷段7、第二表冷段8、第一转轮除湿段9、第一回风混合段12、中效过滤器段10、第三表冷段11、第一变频风机段13、第二转轮除湿段14、第二变频风机段15,所述初效过滤器段5用于对新风进行初效过滤,第一加热段6用于对新风进行预加热,第一表冷段7用于对新风进行初次冷却降温,第二表冷段8用于对新风进行二次冷却降温,第一转轮除湿段9用于对冷却降温后的新风进行初次除湿,第一回风混合段12用于承接生产车间3回风并与初次除湿后的新风进行混合,中效过滤器段10用于对混合后的风进行中效过滤,第三表冷段11用于对中效过滤后的风进行降温提高湿度,第一变频风机段13用于将风输出至第二转轮除湿段14,第二转轮除湿段14用于对风进行二次除湿,第二变频风机段15用于将湿度调节完毕的新风输送至生产车间3新风输入端。

全文数据:

权利要求:

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