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申请/专利权人：江苏芯德半导体科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种能够预防回流偏移的回流机，包括若干根步梁：所述回流机内部依次设置若干个温区，每个温区对应设置一个热板；各热板均匀间隔设置；各热板上均平行设有若干个传送轨道槽；相邻的热板上的传送轨道槽一一对应；若干根步梁分别设置在对应的传送轨道槽内且可沿传送轨道槽长度方向移动；所述步梁的截面为椭圆形；每个步梁的一侧椭圆形端面上偏心位置上安装有翻转轴；各步梁可随对应的翻转轴转动；所述步梁上间隔设置焊接固定块，该焊接固定块呈半椭球状。本实用新型能够解决了晶圆回流不充分的技术问题。
主权项：1.一种能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：包括若干根步梁：所述回流机内部依次设置若干个温区，每个温区对应设置一个回流机热板；各回流机热板均匀间隔设置；各回流机热板上均平行设有若干个传送轨道槽；相邻的回流机热板上的传送轨道槽一一对应；若干根步梁分别设置在对应的传送轨道槽内且可沿传送轨道槽长度方向移动；所述步梁的截面为椭圆形；每个步梁的一侧椭圆形端面上偏心位置上安装有翻转轴；各步梁可随对应的翻转轴转动；所述步梁上间隔设置焊接固定块，该焊接固定块呈半椭球状；当步梁不移动时，步梁置于传送轨道槽内部，步梁最高点低于回流机热板上端面，每个晶圆下端面置于对应的回流机热板上，焊接固定块设于两个回流机热板之间的间隔内；当步梁绕翻转轴正向翻转90°时，各步梁抬起各晶圆，各步梁水平移动至下一个回流机热板，焊接固定块沿着传送轨道槽移动，推动滞留在回流机热板上的晶圆；当晶圆到达下一个回流机热板时，步梁绕翻转轴逆向翻转90°时，各晶圆的下端面再次置于对应的下一个回流机热板上。
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