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申请/专利权人:武汉市汇达材料科技有限公司
摘要:本发明涉及新材料及其应用技术领域,具体公开了一种液体环氧树脂基白刚玉修刀盘及其制备方法和应用。由环氧树脂结合剂、白刚玉微粉、炭黑以及硅烷偶联剂制备而成,环氧树脂结合剂由液体环氧树脂,固化剂,促进剂及稀释剂组成;按重量份数计,包括环氧树脂结合剂18~43份、白刚玉微粉55~80份、炭黑1~2.5份和硅烷偶联剂0.5~2份;在环氧树脂结合剂中,按重量份数计,包括液体环氧树脂40~60份、固化剂40~60份、促进剂1~5份和稀释剂10~20份。制备得到的修刀盘与切割晶圆的树脂基划片刀的磨削比为1:2.2~2.3,使得修刀盘具有更长的使用寿命,可作为树脂切割刀的修整工具应用于晶圆切割工艺中。
主权项:1.一种液体环氧树脂基白刚玉修刀盘,其特征在于,所述液体环氧树脂基白刚玉修刀盘由环氧树脂结合剂、白刚玉微粉、炭黑以及硅烷偶联剂制备而成,所述环氧树脂结合剂由液体环氧树脂,固化剂,促进剂及稀释剂组成;按重量份数计,包括环氧树脂结合剂18~43份、白刚玉微粉55~80份、炭黑1~2.5份和硅烷偶联剂0.5~2份;在所述环氧树脂结合剂中,按重量份数计,包括液体环氧树脂40~60份、固化剂40~60份、促进剂1~5份和稀释剂10~20份。
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百度查询: 武汉市汇达材料科技有限公司 一种液体环氧树脂基白刚玉修刀盘及其制备方法和应用
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