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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种硅片处理装置，包括具有容纳腔的柜体，柜体的第一侧壁上设置有与容纳腔连通的入口，入口上安装有柜门，入口处设置有用于承载片盒的承载台，入口包括靠近承载台设置的底壁，底壁包括位于柜门靠近承载台的一侧的第一区域；还包括防夹手结构，防夹手结构包括容纳于容纳腔内的感应传感器，第一区域上设置有用于出射感应传感器的感应信号的透射孔；还包括设置于第一区域上的开关结构，开关结构用于调节透射孔的开度。本发明还涉及一种硅片处理设备。通过开关结构的设置，可以调整透射孔的开度，从而可以调节防夹手结构的感应传感器的信号的强度，以避免防夹手结构的信号对天车的降落的干扰，并且不影响防夹手结构本身的防夹手功能。
主权项：1.一种硅片处理装置，其特征在于，包括具有容纳腔的柜体，所述柜体的第一侧壁上设置有与所述容纳腔连通的入口，所述入口上安装有柜门，所述入口处设置有用于承载片盒的承载台，所述入口包括靠近所述承载台设置的底壁，所述底壁包括位于所述柜门靠近所述承载台的一侧的第一区域；还包括防夹手结构，所述防夹手结构包括容纳于所述容纳腔内的感应传感器，所述第一区域上设置有用于输出所述感应传感器的感应信号的透射孔；还包括设置于所述第一区域上的开关结构，所述开关结构用于调节所述透射孔的开度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安欣芯材料科技有限公司 硅片处理装置和硅片处理设备
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