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申请/专利权人：西安诺瓦星云科技股份有限公司
摘要：本申请属于晶圆缺陷维修技术领域，提供了一种清洗装置及返修设备，清洗装置包括清洗组件、活动座、磁吸组件、传动机构及驱动组件；磁吸组件连接于清洗组件和活动座之间，以用于使清洗组件磁吸连接于活动座上；驱动组件通过传动机构与活动座联动配合，以使清洗组件沿预设轨迹运动。本申请旨在解决现有技术中清洗部件更换费时费力的技术问题。
主权项：1.一种清洗装置，其特征在于，包括清洗组件1、活动座2、磁吸组件8、传动机构3及驱动组件7；所述磁吸组件8连接于所述清洗组件1和所述活动座2之间，以用于使所述清洗组件1磁吸连接于所述活动座2上；所述驱动组件7通过传动机构3与所述活动座2联动配合，以使所述清洗组件1沿预设轨迹运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安诺瓦星云科技股份有限公司 清洗装置及返修设备
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