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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种加热盘测试平台。所述加热盘测温平台包括测试腔、喷淋板、红外遮光罩及红外摄像头。所述测试腔用于容纳待测的加热盘。所述喷淋板设于所述测试腔之上，用于将上方输入的工作气体均匀地传输到所述测试腔中，和或阻挡从所述测试腔中向上散逸的热量。所述红外遮光罩罩于所述测试腔及所述喷淋板之上，并具有符合红外摄像头焦距的高度，用于隔绝外界的光线。所述红外摄像头设于所述红外遮光罩之上，并朝向所述加热盘，用于穿过所述喷淋板来采集所述加热盘表面的温度分布图像。通过设置一种可拆卸的喷淋板及其限位结构，本实用新型可以快速拆卸喷淋板并在两种测温功能之间快速切换。
主权项：1.一种加热盘测温平台，其特征在于，包括：测试腔，用于容纳待测的加热盘；喷淋板，设于所述测试腔之上，用于将上方输入的工作气体均匀地传输到所述测试腔中，和或阻挡从所述测试腔中向上散逸的热量；红外遮光罩，罩于所述测试腔及所述喷淋板之上，并具有符合红外摄像头焦距的高度，用于隔绝外界的光线；以及所述红外摄像头，设于所述红外遮光罩之上，并朝向所述加热盘，用于穿过所述喷淋板来采集所述加热盘表面的温度分布图像。
全文数据：
权利要求：
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