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申请/专利权人：富士胶片电子材料(苏州)有限公司
摘要：一种半导体制造用药液中粒子的测量装置、过滤方法、制造方法及生产装置，该装置包括液槽、第一流路、从第一流路的分支点延伸至下游侧的合流点的第二流路、设置在分支点的上游侧的液体喷出机、配置在液体喷出机与分支点之间的过滤器、对第二流路的药液中所含的粒子的数量进行计数的测量器、及经由阀门与第一流路连接的排出流路。从过滤器到分支点的长度X1、从分支点到合流点的长度X2、从合流点到流入端的长度X3、从分支点到测量器的药液流入口的长度Y1、从测量器的药液流出口到合流点的长度Y2满足下述关系式（1）及（2）：X2（X1+X2+X3）≥0.25（1），X2（Y1+Y2）≥0.5（2）。
主权项：1.一种半导体制造用药液中粒子的测量装置，其特征在于，包括：具有储存半导体制造用的药液的液槽，所述液槽具备供所述药液从所述液槽流出的流出端和供所述药液流入所述液槽的流入端；第一流路，其连结所述流出端和所述流入端，供所述药液流动；第二流路，其从所述第一流路中的分支点延伸至在所述第一流路中位于比所述分支点靠近其下游侧的合流点；液体喷出机，其在所述第一流路中设置在比所述分支点靠近其上游侧，使所述液槽内的所述药液从所述流出端朝向所述流入端流入所述第一流路；过滤器，其在所述第一流路中配置在所述液体喷出机与所述分支点之间；测量器，其配置在所述第二流路中，对所述第二流路内的所述药液中所含的粒子的数量进行计数；以及排出流路，其经由阀门与所述第一流路连接，用于将所述药液向所述第一流路外排出，所述阀门是将所述药液的流路从所述第一流路切换到所述排出流路的部件，在将所述第一流路中的从所述过滤器到所述分支点的长度设为X1、将所述第一流路中的从所述分支点到所述合流点的长度设为X2、将所述第一流路中的从所述合流点到所述流入端的长度设为X3、将所述第二流路中的从所述分支点到所述测量器的药液流入口的长度设为Y1、将所述第二流路中的从所述测量器的药液流出口到所述合流点的长度设为Y2的情况下，满足以下的关系式（1）及（2）：X2（X1+X2+X3）≥0.25（1）X2（Y1+Y2）≥0.5（2）。
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