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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本公开涉及无监督的缺陷分段。一种检验系统可从缺陷检验系统接收与一或多个样品的检验相关联的检验数据集，其中与缺陷相关联的所述多个检验数据集的检验数据集包含两个或更多个信号属性的值及一或多个上下文属性的值。检验系统可进一步基于所述检验数据集中的每一者在由所述两个或更多个信号属性界定的信号空间中的相应位置而使用类别标记对所述检验数据集中的每一者进行标记，其中每一类别标记与所述信号空间的区域对应。检验系统可进一步通过使用所述上下文属性的所述值及针对所述检验数据集的对应类别标记训练分类器而将所述检验数据集分段为两个或更多个缺陷群组，其中基于所述经训练分类器识别所述两个或更多个缺陷群组。
主权项：1.一种检验系统，其包括：控制器，其包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行经配置以致使所述一或多个处理器完成以下项的过程指令：从缺陷检验系统接收与一或多个样品的检验相关联的多个检验数据集，其中与缺陷相关联的所述多个检验数据集的检验数据集包含两个或更多个信号属性的值及一或多个上下文属性的值，其中所述两个或更多个信号属性的信号属性代表由所述缺陷检验系统响应于缺陷而生成的信号，其中所述一或多个上下文属性的上下文属性代表所述缺陷的一或多个额外特性；基于所述检验数据集中的每一者在由所述两个或更多个信号属性界定的信号空间中的相应位置而使用来自一组类别标记的类别标记对所述检验数据集中的每一者进行标记，其中每一类别标记与所述信号空间的区域对应；及通过使用所述一或多个上下文属性的所述值及来自针对所述多个检验数据集的所述一组类别标记的对应类别标记训练分类器而将所述多个检验数据集分段为两个或更多个缺陷群组，其中基于经训练分类器识别所述两个或更多个缺陷群组，其中所述一或多个处理器通过以下操作使用类别标记对所述检验数据集中的每一者进行标记：在所述信号空间中映像所述多个检验数据集；将所述信号空间划分为一组多边形，其中所述检验数据集经分布在所述一组多边形的至少两个多边形之间；及使用来自所述一组类别标记的与来自所述一组多边形的含有相应检验数据集的多边形对应的类别标记对所述多个检验数据集的每一检验数据集进行标记。
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