买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：苏州智程半导体科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种晶圆单片清洗装置及方法，其晶圆单片清洗装置包括用于承载晶圆的承载台；用于驱动承载台的旋转驱动装置，旋转驱动装置固定于承载台底部；清洗装置，包括清洗管路、清洗喷嘴以及清洗液源，清洗喷嘴设置于承载台上方且通过清洗管路与清洗液源连接；干燥装置，包括干燥管路、干燥喷嘴以及干燥气源，干燥喷嘴设置于承载台上方且通过干燥管路与干燥喷嘴连接；成像装置，包括探测器以及信号处理模块，探测器设置于承载台正上方且通过导线与信号处理模块连接；探测器包括激光发射器、同步控制模块、CCD摄像机以及视频采集模块；本发明能够有效提升晶圆单片清洗效率。

主权项：1.一种晶圆单片清洗装置的清洗方法，所述清洗装置包括用于承载晶圆的承载台、用于驱动所述承载台的旋转驱动装置、清洗装置、干燥装置以及成像装置；所述清洗装置包括清洗管路、清洗喷嘴以及清洗液源；所述干燥装置包括干燥管路、干燥喷嘴以及干燥气源；所述成像装置包括探测器以及信号处理模块；所述探测器包括激光发射器、同步控制模块、CCD摄像机以及视频采集模块；其特征在于，所述清洗方法包括：将待清洗的晶圆置于承载台上；通过旋转驱动装置带动承载台匀速旋转；通过清洗液源将清洗液通过清洗管路导入清洗喷嘴，清洗喷嘴对晶圆表面进行清洗；通过干燥气源将干燥气通过干燥管路导入干燥喷嘴，干燥喷嘴对晶圆表面进行干燥；通过同步控制器获取旋转驱动装置的旋转角速度，根据旋转角速度判断晶圆是否旋转到预设的拍摄角度，若是，则同步控制器向清洗液源、干燥气源发出停止脉冲信号，向激光发射器发出启动脉冲信号；清洗液源、干燥气源在停止脉冲信号时间内暂停工作，激光发射器发出激光脉冲，激光脉冲照射晶圆表面并反射至CCD摄像机；通过视频采集模块将CCD摄像机采集的视频信号上传至信号处理模块，并将所述视频信号中的fHz场同步信号分离出来上传至同步控制器；其中，f＝1t，t为CCD摄像机每场光积分时间；通过同步控制器根据场同步信号将光积分信号分离出来，当激光脉冲的时间全部处于任一场光积分过程中时，同步控制器发出信号至信号处理模块将这一场图像冻结输出；通过信号处理模块将输出图像与标准晶圆图像进行相似度比较，若相似度达到预设的相似度阈值，则停止清洗液源，在预设延迟后停止旋转驱动装置和干燥气源；其中，所述标准晶圆图像为预设的拍摄角度的标准晶圆图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州智程半导体科技股份有限公司 一种晶圆单片清洗装置及方法