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申请/专利权人:东京毅力科创株式会社
摘要:本发明提供一种红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统,能够提高红外线摄像机的温度的检测精度,包括取得工序、校正值计算工序、插补曲线确定工序、和保存工序。在取得工序中,载置基板的载置台被设定为多个不同的温度,在各温度下由红外线摄像机取得来自载置台的上表面的多个区域各自的红外线的放射量的检测值。在校正值计算工序中,在各温度下计算设置有温度传感器的区域即基准区域的检测值与其它区域的检测值的差量来作为校正值。在插补曲线确定工序中,对各区域确定表示相对于基准区域的检测值的校正值的变化趋势的插补曲线。在保存工序中,保存规定对各个区域确定的插补曲线的参数。
主权项:1.一种红外线摄像机的校正方法,其特征在于,包括:取得工序,将载置基板的载置台设定为多个不同的温度,在各温度下从红外线摄像机取得来自所述载置台的上表面的设置有温度传感器的多个区域和没有设置温度传感器的多个区域各自的红外线的放射量的检测值;校正值计算工序,在多个不同的所述温度下,计算出作为设置有温度传感器的所述区域的基准区域的所述检测值与没有设置温度传感器的其它所述区域的所述检测值的差量来作为校正值;插补曲线确定工序,对各所述区域确定表示相对于所述基准区域的所述检测值的所述校正值的变化趋势的插补曲线;和保存工序,保存对各所述区域确定的所述插补曲线的参数。
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百度查询: 东京毅力科创株式会社 红外线摄像机的校正方法和红外线摄像机的校正系统
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