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申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司

摘要：本发明的实施例公开了一种三轴加速度计及电子设备，其中三轴加速度计包括加速度检测单元，加速度检测单元包括第一检测模块、第二检测模块和第三检测模块，第一检测模块包括第一质量块，第一质量块包括贯通自身厚度的镂空槽，第二检测模块和第三检测模块均位于镂空槽中。第一检测模块用于检测第一方向的加速度，第二检测模块用于检测第二方向的加速度，第三检测模块用于检测第三方向的加速度。第一方向、第二方向和第三方向相互相交且垂直。本申请显著减小了加速度计的整体尺寸和体积，且三个检测模块互不干扰，提高了三轴加速度计的检测精度和可靠性。

主权项：1.一种三轴加速度计，其特征在于，包括加速度检测单元000，所述加速度检测单元000包括第一检测模块010、第二检测模块020和第三检测模块030，所述第一检测模块010包括第一质量块011和与所述第一质量块011连接的扭转梁012，所述第一质量块011具有贯通自身厚度的镂空槽0111，所述扭转梁012位于所述镂空槽0111中，将所述镂空槽0111分割为第一区0112和第二区0113，所述第二检测模块020位于所述第一区0112中，所述第三检测模块030位于所述第二区0113中；所述第一质量块011用于绕所述扭转梁012的轴线转动，以与位于第一衬底300中的第一固定电极310形成针对第一方向的加速度的第一检测电容，所述第二检测模块020包括第二质量块021和第二固定电极023，所述第二质量块021用于在第二方向上往复滑动，以与所述第二固定电极023形成针对所述第二方向的加速度第二检测电容，所述第三检测模块030包括第三质量块031和第三固定电极033，所述第三质量块031用于在第三方向上往复滑动，以与所述第三固定电极033形成针对所述第三方向的第三检测电容；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互相交且垂直；还包括第一锚点单元100和第二锚点单元200，在所述第一方向上，所述第一锚点单元100和所述第二锚点单元200位于所述加速度检测单元000的两侧，且均与所述加速度检测单元000连接，所述加速度检测单元000通过所述第一锚点单元100与所述第一衬底300连接，所述加速度检测单元000通过所述第二锚点单元200与第二衬底400连接；所述第一检测模块010、第二检测模块020和第三检测模块030均包括多个锚点区40；所述第一锚点单元100包括多个信号锚点块101，每个所述信号锚点块101与一个所述锚点区40连接，所述第一检测模块010、第二检测模块020和第三检测模块030均通过所述信号锚点块101与所述第一衬底300连接；所述第二锚点单元200包括多个支撑锚点块201，至少有一个所述支撑锚点块201与多个相邻的所述锚点区40连接，所述第一检测模块010、第二检测模块020和第三检测模块030均通过所述支撑锚点块201与所述第二衬底400连接，所述信号锚点块101为导电体，所述支撑锚点块201为绝缘体。

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