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申请/专利权人：罗姆股份有限公司
摘要：本发明提供一种加速度传感器，其包括：具有第一主面和与第一主面相对的第二主面的器件侧基板；从第一主面向第二主面侧凹陷的凹部；构成差动电路的MEMS电极，其设置在凹部内，包括：具有第一固定电极和相对于该第一固定电极电绝缘的第二固定电极的固定电极；和具有第一可动电极和相对于该第一可动电极电绝缘的第二可动电极的可动电极；和绝缘接头，其将第一可动电极和第二可动电极电绝缘并且机械连接。
主权项：1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：具有第一主面和与所述第一主面相对的第二主面的基板；从所述第一主面向所述第二主面侧凹陷的凹部；构成差动电路的MEMS电极，其设置在所述凹部内，包括：具有第一固定电极和相对于该第一固定电极电绝缘的第二固定电极的固定电极；和具有第一可动电极和相对于该第一可动电极电绝缘的第二可动电极的可动电极；和将所述第一可动电极和所述第二可动电极电绝缘且机械地连接的绝缘接头。
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