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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：提供一种光学式位移计，能够在解决运用时的防尘、安全方面等的问题的同时，不设置输送机、直动机构就能够高精度地获取工件的多个位置处的轮廓。光学式位移计1具备：投光受光模块10，其将投光部11、聚光部12以及摄像部13一体地保持为具有Scheimpflug的关系；马达20，其使投光受光模块10一体地旋转；壳体40，其容纳投光受光模块10；以及控制部，其对马达20进行控制，来使维持着Scheimpflug的关系的状态的投光受光模块10在壳体40内部旋转，从而使狭缝光在与X方向正交的方向上进行扫描。
主权项：1.一种光学式位移计，其特征在于，具备：投光受光模块，其具有投光部、聚光部、摄像部以及支承构件，其中，所述投光部照射沿X方向延展的狭缝光，所述聚光部具有使被工件反射而得到的反射光会聚的受光透镜，所述摄像部接收通过所述聚光部被会聚后的光，所述支承构件将所述投光部、所述聚光部以及所述摄像部一体地保持为具有所述摄像部的受光面相对于所述受光透镜的光轴倾斜的沙姆的关系；马达，其使所述投光受光模块一体地旋转；壳体，其容纳所述投光受光模块；以及控制部，其对所述马达进行控制，来使维持着所述沙姆的关系的状态的所述投光受光模块在所述壳体内部旋转，从而使所述狭缝光在与X方向正交的方向上进行扫描。
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