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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本公开实施例公开了一种敏感芯体和传感器。所述敏感芯体包括：硅片和硅盖板；所述硅片包括衬底层、埋氧层和器件层；所述敏感芯体整体呈长条状，硅盖板上设置有谐振腔；衬底层上设置有压力敏感膜；所述硅盖板上的所述谐振腔与所述衬底层上的所述压力敏感膜的位置上下对应，并且尺寸相同；所述器件层上设置有两个谐振器，所述两个谐振器平行悬空放置在压力敏感膜的不同位置，分别处于正负应力区。该技术方案采用低温金硅共晶键合实现纯硅敏感芯体，硅盖板与SOI层热膨胀系数匹配，宽温区内热应力变化小，提高宽温度范围内的压力测量精度和稳定性。
主权项：1.一种敏感芯体，其特征在于，包括：硅片和硅盖板；所述硅片包括衬底层、埋氧层和器件层；所述敏感芯体整体呈长条状，硅盖板上设置有谐振腔；衬底层上设置有压力敏感膜；所述硅盖板上的所述谐振腔与所述衬底层上的所述压力敏感膜的位置上下对应，并且尺寸相同；所述器件层上设置有两个谐振器，所述两个谐振器平行悬空放置在压力敏感膜的不同位置，分别处于正负应力区；所述敏感芯体的两端分别为压力敏感区和电连接区；在电连接区的衬底层刻有引线孔，引线孔穿过衬底层和埋氧层，暴露出器件层上的接线端子，接线端子包括驱动电极接线端子、检测电极接线端子和接地接线端子；在引线孔底部制作一层金属电极，用于压焊引线；所述谐振器的两侧设置有平板驱动电极和检测电极；所述驱动电极和检测电极分别与所述敏感芯体一端的电连接区的驱动电极接线端子、检测电极接线端子相连；电连接区还设置有接地接线端子；平板驱动电极、检测电极设置在敏感芯体的压力敏感区，驱动电极接线端子、检测电极接线端子和接地接线端子均设置在敏感芯体的电连接区。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 敏感芯体和传感器
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