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申请/专利权人：武汉飞恩微电子有限公司

摘要：一种制作成本较低的压差传感器，其包括压差传感器组件，压差传感器组件包括：金属件，包括水平延伸的板和由板冲压得到的左右间隔的两个薄壳状的锥形筒体，筒体的轴向竖直设置且其锥顶朝上设置，筒体的内腔朝下延伸至板的下侧表面；一一对应地设置于两个筒体内腔中的第一芯体组件和第二芯体组件，每个芯体组件均包括自下而上依次固定的金属波纹片、第一金属座及第二金属座，第一金属座的下端面与金属波纹片之间围成主填充腔，第一金属座和第二金属座这两者的外壁均密封焊接至对应的筒体内壁且与对应的筒体三者之间围成填充间隙，主填充腔通过上下贯穿地设置于第一金属座上的一压力过孔连通至填充间隙；连接管；压力敏感元件；及多个插针。

主权项：1.一种压差传感器组件，其特征在于，包括：金属件1，包括水平延伸的板11和由板11冲压得到的左右间隔的两个薄壳状的锥形筒体12a、12b，筒体12a、12b的轴向竖直设置且其锥顶朝上设置，筒体12a、12b的内腔朝下延伸至板11的下侧表面；一一对应地设置于两个所述筒体12a、12b内腔中的第一芯体组件2a和第二芯体组件2b，每个所述芯体组件2a、2b均包括自下而上依次固定的金属波纹片202、第一金属座201及第二金属座204，所述第一金属座201的下端面与所述金属波纹片202之间围成主填充腔，所述第一金属座201和所述第二金属座204这两者的外壁均密封焊接至对应的筒体12a12b内壁且与对应的筒体12a12b三者之间围成填充间隙20b，所述主填充腔通过上下贯穿地设置于第一金属座201上的一压力过孔201b连通至所述填充间隙20b；连接管3，其两端一一对应地通过两个所述筒体12a、12b上设置的孔连通至对应的填充间隙20b；填充于所述主填充腔、所述压力过孔201b、所述填充间隙20b以及所述连接管3内腔中的导压液；压力敏感元件200，其固定于所述第一芯体组件2a的所述压力过孔201b下端扩大而形成的一第二凹腔201c中，其第一感测面封堵于对应的压力过孔201b下端以接收由第一芯体组件2a的金属波纹片202接收的压力，所述第一芯体组件2a的金属波纹片202接收的压力被所述压力敏感元件200的第二感测面所接收；及多个插针205，其下端密封地穿设对应的第二金属座204、第一金属座201后伸入所述第二凹腔201c中并电连接至所述压力敏感元件200，其上端暴露于对应第二金属座204的外部。

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