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申请/专利权人：冠礼控制科技(上海)有限公司
摘要：本发明属于半导体集成电路制造技术领域，且公开了一种涂胶显影机晶圆定位装置，包括底座和支柱，所述支柱的顶端安装有安装筒，所述安装筒的上方设置有晶圆，所述安装筒的内部开设有一号腔和二号腔，并开设有与所述一号腔连通的气压孔，所述一号腔的内腔安装有伸缩杆。本装置采取了较为柔和的方式实现了对晶圆的定位功能，通过设置有支撑机构对晶圆预先进行支撑，利用转动器转动安装于支撑柱的外表面，使滚轮实现了自转和公转的同步功能，可对晶圆在任意方向上的位移进行转动适配，该设计实现了滚轮对晶圆底部的全转动支撑，完全避免了支撑部件对晶圆在定位过程中因相对于位移产生的滑动摩擦，大大减小了晶圆的磨损伤害。
主权项：1.一种涂胶显影机晶圆定位装置，包括底座1和支柱2，所述支柱2的顶端安装有安装筒3，所述安装筒3的上方设置有晶圆4，其特征在于：所述安装筒3的内部开设有一号腔31和二号腔32，并开设有与所述一号腔31连通的气压孔5，所述一号腔31的内腔安装有伸缩杆6，所述伸缩杆6的伸缩端安装有活塞7，所述活塞7的外周面安装有密封圈8，所述活塞7的顶部固定安装有多组支撑机构9，所述安装筒3的顶部安装有支撑环10，所述安装筒3的底部安装有电机11和多组中间柱15，所述电机11的输出轴固定安装有固定块12，所述固定块12的外表面固定安装有多组主动杆13，所述主动杆13的顶部固定连接有卡柱14，所述中间柱15的外表面转动安装有转板16，所述转板16的顶部开设有适配槽17，所述卡柱14适配卡合于适配槽17中，所述转板16的顶部固定安装有定位筒19，所述定位筒19的内部活动套设有定位柱20，所述定位柱20的外表面转动安装有转筒22和缓冲套23；所述支撑机构9包括固定筒91，所述固定筒91的内部活动套接有支撑柱92和弹簧一93，所述弹簧一93的外表面转动安装有转动器94，所述转动器94的内部转动安装有滚轮95，所述晶圆4支撑于滚轮95的外表面。
全文数据：
权利要求：
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