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申请/专利权人：上海先普气体技术有限公司

摘要：本发明公开了一种原料气处理系统和原料气处理方法，该处理系统包括：进气单元，设有用于监测通入催化氧化单元的原料气的体积流量的进气量监测模块，原料气为包含能够与氧反应的还原性气体杂质的惰性气体；加氧单元，设有用于监测和调节通入催化氧化单元的氧气的体积流量的进气量控制模块；催化氧化单元，原料气中的还原性气体杂质和氧气在所述催化氧化单元内发生氧化反应获得纯化气；控制单元，连接进气量监测模块和进气量控制模块；控制单元根据原料气中所述还原性气体杂质的浓度控制所述进气量控制模块调节所述氧气的体积流量。控制单元每隔时间间隔T根据纯化气的氧气浓度的变化控制进气量控制模块调整一次通入催化氧化单元的氧气的体积流量。

主权项：1.一种原料气处理系统，其特征在于，包括进气单元，设有进气量监测模块，所述进气量监测模块用于监测通入催化氧化单元的原料气的体积流量，所述原料气为包含能够与氧反应的还原性气体杂质的惰性气体；加氧单元，设有进气量控制模块，所述进气量控制模块用于监测和调节通入所述催化氧化单元的氧气的体积流量；催化氧化单元，所述原料气中的所述还原性气体杂质和所述氧气在所述催化氧化单元内发生氧化反应获得纯化气；控制单元，连接所述进气量监测模块和所述进气量控制模块，根据所述原料气中所述还原性气体杂质的浓度控制所述进气量控制模块调节所述氧气的体积流量，所述还原性气体杂质的浓度以原料气中的最大浓度为计；所述控制单元每隔时间间隔T根据所述纯化气的氧气浓度的变化控制所述进气量控制模块调整一次通入所述催化氧化单元的氧气的体积流量A：当在时间间隔T后的所述纯化气中检测到有剩余的氧气，则将所述体积流量A调整为：时间间隔T前通入催化氧化单元的氧气体积流量减去时间间隔T后的所述纯化气中氧气的体积流量；当在时间间隔T后的所述纯化气中未检测到氧气，则将所述体积流量A调整为：时间间隔T前通入催化氧化单元的氧气体积流量加上纯化气在时间间隔T后减少的氧气体积流量；所述纯化气在时间间隔T后减少的氧气体积流量，为根据所述当在时间间隔T后的所述纯化气中未检测到氧气时的调整方法，在前一个时间间隔T后的所述纯化气中检测到有剩余的氧气时，在所述前一个时间间隔T后减少的氧气体积流量，或为在此次时间间隔T后减少的氧气体积流量；当在时间间隔T后的所述纯化气中未检测到氧气，且时间间隔T前调整时没有减少氧气体积流量，则将所述体积流量A调整为：时间间隔T前通入催化氧化单元的氧气体积流量加上最近的一次调整氧气体积流量减少时对应的体积流量减少量。

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