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申请/专利权人：深圳市云飞龙特种气体有限公司
摘要：本实用新型涉及混合气技术领域，提出了一种超纯混合气自动配气系统，包括子供气单元、混气单元和检测单元，所述子供气单元包括有气体纯化器、换向阀和缓冲瓶，所述气体纯化器包括若干半圆形壳体，所述半圆形壳体中固定设置有吸附层，所述半圆形壳上设有锁扣组件，所述半圆形壳体下方均设有密封隔离件，所述密封隔离件下方设有旋转连接件，所述旋转连接件内部中空，所述半圆形壳体顶部端面和底部端面均设有若干滤气孔，通过上述技术方案，解决了现有技术中的能不需要停止纯化器的工作的同时快捷更换气体纯化器内部吸附层，同时避免未经过所有纯化处理步骤的气体通过气体纯化器的问题。
主权项：1.一种超纯混合气自动配气系统，包括子供气单元、混气单元和检测单元，所述子供气单元包括有气体纯化器1、换向阀16和缓冲瓶11，其特征在于，所述气体纯化器1包括若干半圆形壳体2，所述半圆形壳体2中固定设置有吸附层4，所述半圆形壳体2上设有锁扣组件5，所述半圆形壳体2下方均设有密封隔离件12，所述密封隔离件12下方设有旋转连接件3。
全文数据：
权利要求：
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