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申请/专利权人：中南大学
摘要：本发明公开了一种高灵敏度悬浮太赫兹超材料传感器及其应用，包括N×M个周期性排列的单元结构，所述单元结构包括基底、介质支撑层以及设置在介质支撑层上的金属层；所述介质支撑层和金属层都为“V”字图形，所述“V”字图形为两个，口对口对称排列；所述“V”字图形的线宽为4‑8μm，两边线长为30‑45μm，夹角角度为35°‑45°，底部宽度为8‑10μm；“V”字图形之间的间隔为4‑8μm；所述介质支撑层为光刻胶，折射率为1.50‑1.60，介质支撑层的厚度和金属层的厚度比为70‑80:1；本发明的传感器结构简单，成本低，尺寸小，易于加工，传感器的灵敏度高，应用于生物医学检测领域。
主权项：1.一种高灵敏度悬浮太赫兹超材料传感器，其特征是，包括N×M个周期性排列的单元结构，所述N，M为大于0的自然数，所述单元结构包括基底1、介质支撑层2以及设置在介质支撑层上的金属层3；所述介质支撑层2和金属层3都为“V”字图形，所述“V”字图形为两个，口对口对称排列；所述“V”字图形的线宽为4-8μm，“V”字图形的两边线长为30-45μm，“V”字图形的夹角角度为30°-50°，“V”字图形的底部宽度为8-10μm；“V”字图形之间的间隔为4-8μm；所述介质支撑层2为光刻胶，折射率为1.50-1.60，所述介质支撑层2的厚度和所述金属层3的厚度比为70-80:1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中南大学 一种高灵敏度悬浮太赫兹超材料传感器及其应用
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