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申请/专利权人：东莞澳中新材料科技股份有限公司;澳中新材料科技(韶关)有限公司;澳华新材料科技(韶关)有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆切割保护膜，包括基材层和粘性层，基材层包括TPU层和延伸层，TPU层、延伸层、粘性层依次复合；TPU层包括热塑性聚氨酯弹性体；延伸层包括第一热塑性弹性体，第一热塑性弹性体包括聚醋酸乙烯酯、聚碳酸酯中的至少一种，第一热塑性弹性体的分子量为1.5万～10万；粘性层包括丙烯酸酯聚合物，以丙烯酸酯聚合物的重均分子量为Mw，以丙烯酸酯聚合物的数均分子量为Mn，丙烯酸酯聚合物满足：1＜MwMn≤2.5，且，Mw≥10万。本发明所提供的晶圆切割保护膜能够对晶圆起到有效的切割保护作用，解决了现有技术中存在的粘性层与基材层附着力不佳的问题，防止晶圆切割保护膜出现分层、脱胶现象。
主权项：1.一种晶圆切割保护膜，其特征在于，包括基材层和粘性层，所述基材层包括TPU层和延伸层，所述TPU层、所述延伸层、所述粘性层依次复合；所述TPU层包括热塑性聚氨酯弹性体；所述延伸层包括第一热塑性弹性体，所述第一热塑性弹性体包括聚醋酸乙烯酯、聚碳酸酯中的至少一种，所述第一热塑性弹性体的分子量为1.5万～10万；所述粘性层包括丙烯酸酯聚合物，以所述丙烯酸酯聚合物的重均分子量为Mw，以所述丙烯酸酯聚合物的数均分子量为Mn，所述丙烯酸酯聚合物满足：1＜MwMn≤2.5，且，Mw≥10万。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞澳中新材料科技股份有限公司 澳中新材料科技(韶关)有限公司 澳华新材料科技(韶关)有限公司 一种晶圆切割保护膜
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