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申请/专利权人：福建恒申电子材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种冷氢化过程中废硅粉再利用的工艺，其特征在于：所述工艺包括以下步骤：S1：流化床反应器产出的气相物料中夹带部分的硅微粉，将这部分硅微粉通入硅粉过滤器；S2：气流经过硅粉过滤器内部的过滤网，将硅微粉阻拦下来，气相通过上部排出；S3：在硅粉过滤器内部通入无水氯化氢，使无水氯化氢与硅微粉反应，其反应产生三氯氢硅及氢气，其反应产生的气相物料经过过滤网将未反应完全的硅微粉拦下后，从硅粉过滤器上部采出；S4：在硅粉过滤器中排出剩余的硅微粉。将废硅粉在过滤器中进行反应，产生三氯氢硅，减少外排废硅粉，产生的三氯氢硅也可作为后端工序的原料参与后端工序，同时增加冷氢化产能。达到降本增效的良好效果。
主权项：1.一种冷氢化过程中废硅粉再利用的工艺，其特征在于：所述工艺包括以下步骤：S1：流化床反应器产出的气相物料中夹带部分的硅微粉，将这部分硅微粉通入硅粉过滤器；S2：气流经过硅粉过滤器内部的过滤网，将硅微粉阻拦下来，气相通过上部排出；S3：在硅粉过滤器内部通入无水氯化氢，使无水氯化氢与硅微粉反应，其反应产生三氯氢硅及氢气，其反应产生的气相物料经过过滤网将未反应完全的硅微粉拦下后，从硅粉过滤器上部采出；S4：在硅粉过滤器中排出剩余的硅微粉。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建恒申电子材料科技有限公司 一种冷氢化过程中废硅粉再利用的工艺
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