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垂直式探针卡及其开放式探针 

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申请/专利权人:台湾中华精测科技股份有限公司

摘要:本发明公开一种垂直式探针卡及其开放式探针。所述开放式探针包含一框体、一弹性件及一针体。所述框体形成有一活动槽及连通于所述活动槽的两个侧开口。所述弹性件安装于所述框体且位于所述活动槽之内。所述针体包含安装于所述活动槽的一内置段及穿出所述活动槽的槽口的一外接段。所述针体通过所述内置段抵接于所述弹性件、而电性耦接于所述框体。所述弹性件与所述内置段皆位于两个所述侧开口之间。所述开放式探针的所述外接段能用来抵顶于一待测物,以使其朝向所述活动槽移动而压迫所述弹性件,令所述弹性件形变而蓄有一弹性力。据此,所述开放式探针通过所述框体的结构设计,以利于降低所述开放式探针的制造困难度与维修复杂度。

主权项:1.一种垂直式探针卡,其特征在于,所述垂直式探针卡包括:一第一导板单元与一第二导板单元,其沿一厚度方向对应于所述第一导板单元且彼此呈间隔地设置;多个导电探针,安装于所述第一导板单元与所述第二导板单元,并且每个所述导电探针包含:一传输段,其两端部分别位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之内;一测试段,自所述传输段的其中一个所述端部延伸穿出所述第一导板单元;及一转接段,自所述传输段的其中另一个所述端部延伸穿出所述第二导板单元;以及多个开放式探针,安装于所述第一导板单元,并且每个所述开放式探针包含有:一框体,穿设且固定于所述第一导板单元;其中,所述框体形成有一活动槽及连通于所述活动槽的两个侧开口,并且所述活动槽的一槽口远离所述第二导板单元;一弹性件,安装于所述框体且位于所述活动槽之内;及一针体,包含有安装于所述活动槽的一内置段及连接于所述内置段的一外接段;其中,所述针体通过所述内置段抵接于所述弹性件、而电性耦接于所述框体,而所述外接段穿出所述槽口与所述第一导板单元;其中,所述弹性件与所述针体的所述内置段皆位于两个所述侧开口之间;其中,于每个所述开放式探针之中,所述针体的所述外接段能用来抵顶于一待测物,以使所述外接段朝向所述活动槽移动而压迫所述弹性件,令所述弹性件形变而蓄有一弹性力。

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权利要求:

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