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申请/专利权人：杭州星原驰半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种立式炉进气连接组件，包括加热器，加热器内部安装有反应管，反应管呈下端开口，反应管的内部设有反应室，反应管的下部连接有歧管，歧管底部密封连接有密封盖，密封盖远离歧管的一端连接有抬升杆，抬升杆上安装有电动推杆，密封盖上转动设置有旋转轴，旋转轴的一端贯穿密封盖且设置在歧管内部，旋转轴上安装有转动平台，旋转轴的另一端固定有转动电机，转动平台上方载有晶舟，晶舟上载有晶圆，反应室内安装有喷嘴，歧管上开设有宽槽，宽槽内安装有喷嘴支架，喷嘴的一端与喷嘴支架的一端实现连接，本申请提供的喷嘴固定结构，无需使用喷嘴及支架以外的卡定部件及板簧部件，不仅占用空间更小，还使喷嘴拆装维护更方便。
主权项：1.一种立式炉进气连接组件，包括加热器，其特征在于，所述加热器1内部安装有反应管2，所述反应管2呈下端开口，所述反应管2的内部设有反应室21，所述反应管2的下部连接有歧管3，所述歧管3上安装有排气管31，所述排气管31上依次安装连接有压力调节阀32和真空泵33，所述歧管3底部密封连接有密封盖43，所述密封盖43远离歧管3的一端连接有抬升杆42，所述抬升杆42上安装有电动推杆41，所述密封盖43上安装有旋转机构5；所述旋转结构5包括旋转轴51和转动平台53，所述旋转轴51转动设置在密封盖43上，所述旋转轴51的一端贯穿所述密封盖43且设置在歧管3内部，所述转动平台53安装在旋转轴51的一端，所述旋转轴51的另一端固定有转动电机52，所述转动平台53上方载有晶舟61，所述晶舟61上载有晶圆62，所述反应室21内安装有喷嘴71，所述歧管3上开设有宽槽，所述宽槽内安装有喷嘴支架72，所述喷嘴71的一端与所述喷嘴支架72的一端实现连接，所述喷嘴支架72的另一端连接有流量控制阀73与质量流量控制器74。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州星原驰半导体有限公司 一种立式炉进气连接组件
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