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申请/专利权人：江苏博涛智能热工股份有限公司
摘要：本发明公开了一种气体扩散板、组合体及装置，其中气体扩散板包括板主体，板主体择一地在一个侧面凹陷地形成扩散结构，而另一个侧面为形成对该扩散结构的封闭部，扩散结构包括顺次连通的：若干分气孔，各自用于向一次扩散腔提供气体；一次扩散腔，包括第一主腔以及适配到分气孔的第一次室；具有若干一次喷射口的第一隔离板；二次扩散腔，包括第二主腔；具有若干二次喷射口的第二隔离板；三次扩散腔，其连通到扩散口。本发明通过优化设计气体喷淋头的扩散结构，有效改善了气相物质分布、流速、压力在整个喷淋盘面的分布稳定性，盘面出气端气体均匀度好，薄膜沉积的均匀性好。
主权项：1.气体扩散板，其特征在于，包括板主体，所述板主体在一个侧面凹陷地形成扩散结构，而另一个侧面为形成对该扩散结构的封闭部，所述扩散结构包括顺次连通的：若干分气孔，各自用于向一次扩散腔提供气体；一次扩散腔，包括第一主腔以及适配到所述分气孔的第一次室，且第一次室沿主方向成发散展开，其底部连通所述分气孔；具有若干一次喷射口的第一隔离板，任一所述一次喷射口的内径由一次扩散腔向二次扩散腔方向呈收敛趋势；二次扩散腔，包括第二主腔；具有若干二次喷射口的第二隔离板，任一所述二次喷射口的内径由二次扩散腔向三次扩散腔方向呈收敛趋势或发散趋势；三次扩散腔，其连通到扩散口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏博涛智能热工股份有限公司 气体扩散板、组合体及装置
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