龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明的基板清洗装置及基板清洗方法具备：与基板抵接来进行该基板的清洗的清洗部件；使清洗部件旋转的部件旋转部；将清洗部件按压于基板的部件驱动部；对清洗部件的按压负荷进行测量的负荷测量部；以及基于负荷测量部的测量值对基于部件驱动部产生的清洗部件的按压量进行控制，以使得清洗部件的按压负荷为设定负荷的控制部。控制部将负荷测量部的测量值与设定负荷进行比较，并重复以下步骤直到差值为第一阈值以下：在差值比第一阈值大且为第二阈值以下的情况下，以第一移动量变更清洗部件的按压量，以使得差值减少；在差值比第二阈值大的情况下，以比第一移动量大的第二移动量变更清洗部件的按压量，以使得差值减少。
主权项：1.一种基板清洗装置，其特征在于，具备：清洗部件，该清洗部件与基板抵接来进行该基板的清洗；部件旋转部，该部件旋转部使所述清洗部件旋转；部件驱动部，该部件驱动部将所述清洗部件按压于所述基板；负荷测量部，该负荷测量部对所述清洗部件的按压负荷进行测量；以及控制部，该控制部基于所述负荷测量部的测量值对基于所述部件驱动部产生的所述清洗部件的按压量进行控制，以使得所述清洗部件的按压负荷为设定负荷，所述控制部对所述负荷测量部的测量值与设定负荷进行比较，并重复以下步骤直到差值为第一阈值以下：在差值比第一阈值大且为第二阈值以下的情况下，以第一移动量变更所述清洗部件的按压量，以使得差值减少；在差值比第二阈值大的情况下，以比第一移动量大的第二移动量变更所述清洗部件的按压量，以使得差值减少。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号