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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本公开提供了一种基于磁通聚集器的磁阻式传感器及其制造方法，可以应用于磁传感技术领域。传感器包括：沿磁阻式传感器的磁传感方向依次设置的第一磁隧道结阵列、第二磁隧道结阵列、第三磁隧道结阵列和第四磁隧道结阵列；每一阵列的磁隧道结排列方向垂直于磁传感方向；第一磁通聚集器，覆盖在第一磁隧道结阵列上，与第二磁隧道结阵列相邻；第二磁通聚集器，覆盖在第四磁隧道结阵列上，与第三磁隧道结阵列相邻；第三磁通聚集器，位于第二磁隧道结阵列和第三磁隧道结阵列之间；其中，第二磁隧道结阵列的自由层上覆盖第一磁通聚集器的部分和第三磁通聚集器的部分，第三磁隧道结阵列的自由层上覆盖第一磁通聚集器的部分和第三磁通聚集器的部分。
主权项：1.一种基于磁通聚集器的磁阻式传感器，包括：沿磁阻式传感器的磁传感方向依次设置的第一磁隧道结阵列、第二磁隧道结阵列、第三磁隧道结阵列和第四磁隧道结阵列，其中，所述第一磁隧道结阵列、所述第二磁隧道结阵列、所述第三磁隧道结阵列和所述第四磁隧道结阵列的磁隧道结排列方向垂直于所述磁传感方向；第一磁通聚集器，覆盖在所述第一磁隧道结阵列上，与所述第二磁隧道结阵列相邻；第二磁通聚集器，覆盖在所述第四磁隧道结阵列上，与所述第三磁隧道结阵列相邻；第三磁通聚集器，位于所述第二磁隧道结阵列和所述第三磁隧道结阵列之间；其中，所述第二磁隧道结阵列的自由层上覆盖所述第一磁通聚集器的部分和所述第三磁通聚集器的部分，所述第三磁隧道结阵列的自由层上覆盖所述第一磁通聚集器的部分和所述第三磁通聚集器的部分。
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百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 基于磁通聚集器的磁阻式传感器及其制造方法
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