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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明实施例公开了一种高光束质量226nm深紫外激光产生的装置及方法，装置包括：Nd:YAG激光器，用于产生泵浦激光；第一非线性晶体，用于接收泵浦激光，将泵浦激光转换为二倍频激光并传输；双色镜，用于分离二倍频激光和泵浦激光；第二非线性晶体，用于接收二倍频激光，将二倍频激光转换为四倍频激光；金刚石拉曼激光器，用于接收泵浦激光，将泵浦激光转换为拉曼激光；和频单元，用于耦合四倍频激光和拉曼激光，产生深紫外激光。利用金刚石拉曼激光器“光束净化”和脉冲压缩的优点，提高输出激光的光束质量和峰值功率，从而提高深紫外波段的和频效率，该装置为全固体激光方案，更为简单稳定，无时间同步等问题。
主权项：1.一种高光束质量226nm深紫外激光产生的装置，其特征在于，所述装置包括：Nd:YAG激光器，用于产生1064nm泵浦激光；第一非线性晶体，用于接收所述泵浦激光，将所述泵浦激光转换为二倍频激光并传输；双色镜，用于分离所述二倍频激光和所述泵浦激光；第二非线性晶体，用于接收所述二倍频激光，将所述二倍频激光转换为四倍频激光；金刚石拉曼激光器，用于接收所述泵浦激光，将所述泵浦激光转换为拉曼激光；和频单元，用于耦合所述四倍频激光和拉曼激光，产生226nm深紫外激光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种高光束质量226nm深紫外激光产生的装置及方法
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