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申请/专利权人：梭特科技股份有限公司
摘要：一种利用正压保持晶圆或晶粒的位置的移载方法，包括：吸盘通过负压吸取晶圆或晶粒；保持装置移动至吸盘的底部并通过正压向上吹拂晶圆或晶粒；吸盘关闭负压且与保持装置同步移动至基板上方；吸盘通过负压吸取晶圆或晶粒；以及保持装置关闭正压且脱离吸盘；吸盘向下移动，直至晶圆或晶粒接触到基板；以及，吸盘关闭负压且脱离晶圆或晶粒，使得晶圆或晶粒结合在基板上。因此，单一吸盘吸取并移动晶圆或晶粒，同时保持装置的正压保持吸盘上的晶圆或晶粒的位置固定不变，避免晶圆或晶粒在基板上的位置精度偏移。
主权项：1.一种利用正压保持晶圆或晶粒的位置的移载装置，其特征在于，包括：吸盘，选择性地产生负压，并且通过所述负压吸取晶圆或多个晶粒的顶面；以及保持装置，设置在所述吸盘的底部，选择性地产生正压，并且通过所述正压向上吹拂所述晶圆或多个所述晶粒的底面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 梭特科技股份有限公司 利用正压保持晶圆或晶粒的位置的移载装置及方法
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