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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明涉及光学系统技术领域，提供一种读数头、光栅干涉仪及位移测量系统，该读数头包括：分光组件和导光组件，该读数头借助于分光组件，将第一信号光分为五路第一光束，将第二信号光分为三路第二光束，该读数头具有两个自由度，可以从两个维度对因光栅位移而引起的干涉信号的变化情况进行采集，进而可以为从两个维度对光栅进行位移测量提供依据。如此，该读数头可以适用于对不同栅线方向的光栅的位移测量，且对光栅的测量范围不受现有的距离限制，并可以得到大幅度提高。而且，该读数头的两个自由度可以共享三路第二光束，可以更为简单地实现相应的效果。
主权项：1.一种读数头，其特征在于，包括：分光组件和导光组件；第一信号光经所述分光组件，产生五路第一光束；第二信号光经所述分光组件，产生三路第二光束；第一路第一光束与第一路第二光束经所述导光组件混合输出；第二路第一光束、第三路第一光束、第四路第一光束和第五路第一光束均经所述导光组件入射至光栅上；所述第二路第一光束对应的衍射光和第二路第二光束经所述导光组件混合输出，所述第三路第一光束对应的衍射光和第三路第二光束经所述导光组件混合输出；或者，所述第四路第一光束对应的衍射光和第二路第二光束经所述导光组件混合输出，所述第五路第一光束对应的衍射光和第三路第二光束经所述导光组件混合输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 读数头、光栅干涉仪及位移测量系统
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