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申请/专利权人：天津大学

摘要：本发明属于光学测量领域中的干涉测量技术，涉及一种透明样品厚度和折射率测量系统及方法。系统包括：SLD光源、光谱仪、光纤结构、参考端结构和测量端结构。所述参考端结构包括反射镜、参考端准直器及其角度调整架；所述测量端结构包括上测量端准直器及其角度调整架、下测量端准直器及其角度调整架、XYZ轴位移台、双轴电控载物台、第一偏振片和第二偏振片；本发明无需使用标准高度样品即可测量待测样品的厚度和折射率，从而消除标准高度样品误差对测量结果的影响，实现自标定测量。本发明通过利用两偏振片上下平行放置，可以衰减光强的特性，减弱测量端上下准直器之间耦合光束的强度，解决了测量过程中透射光强对信号的获取与处理造成的影响。

主权项：1.一种透明样品厚度和折射率测量系统，其特征在于，包括：SLD光源1；光谱仪2，所述光谱仪2用于采集干涉光谱信号；光纤结构3，所述光纤结构3用于调整光束强度、分光以及光束传输；立柱4；参考端结构5，所述参考端结构5安装在所述立柱4上，包括反射镜501、参考端准直器502及参考端准直器的角度调整架503；测量端结构6，所述测量端结构6包括上测量端准直器601及上测量端准直器的角度调整架602、下测量端准直器603及下测量端准直器的角度调整架604、XYZ轴位移台605、双轴电控载物台606、第一偏振片607和第二偏振片608；所述XYZ轴位移台605与所述下测量端准直器603连接，用于调整下测量端准直器603XYZ方向，所述XYZ轴位移台605安装在立柱4上；所述双轴电控载物台606用于样品的放置以及所述上测量端准直器601和所述下测量端准直器603的共轴调整，其中，双轴电控载物台606上有两个孔，一个孔用于所述上测量端准直器601和所述下测量端准直器603的共轴测量，另外一个孔用于待测样品测量，通过控制器控制双轴电控载物台606两个孔之间的移动，双轴电控载物台606安装在所述上测量端准直器601与所述下测量端准直器603之间并间隔合适的距离，通过电控，可以实现XY方向位移；所述第一偏振片607安装在所述上测量端准直器601与所述双轴电控载物台606之间并间隔合适的距离，所述第二偏振片608安装在所述下测量端准直器603与所述双轴电控载物台606之间并间隔合适的距离，两个偏振片配合使用，用于减弱测量端上下准直器之间耦合光束的强度。

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