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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明属于电子测量仪器技术领域，公开一种微型电场传感器的馈通耦合分离方法及系统，其中方法包括：在第一驱动电极和一侧锚点之间施加第一驱动电压，在第三驱动电极和一侧锚点之间施加第二驱动电压，在第二驱动电极和另一侧锚点之间施加第三驱动电压，在第四驱动电极和另一侧锚点之间施加第四驱动电压；确定正极感应电极上的馈通耦合电流，确定负极感应电极上的馈通耦合电流，确定总差分馈通耦合电流，对总差分馈通耦合电流、传感信号进行分离。本发明能够对驱动信号和感应信号之间的频谱进行分离，以解决微型电场传感器的感测响应受馈通干扰的问题，不需要添加额外的结构，方法简单易实现。
主权项：1.一种微型电场传感器的馈通耦合分离方法，其特征在于，包括以下步骤：在第一驱动电极和一侧锚点之间施加第一驱动电压，在第三驱动电极和一侧锚点之间施加第二驱动电压，在第二驱动电极和另一侧锚点之间施加第三驱动电压，在第四驱动电极和另一侧锚点之间施加第四驱动电压，其中，第一驱动电压、第二驱动电压、第三驱动电压和第四驱动电压均为叠加的直流偏置和交流电压，且第一驱动电压和第二驱动电压的电压值相同但方向相反，第三驱动电压和第四驱动电压的电压值相同但方向相反；根据第一驱动电压、第三驱动电压、第一驱动电极与正极感应电极之间的第一耦合电容以及第二驱动电极与正极感应电极之间的第二耦合电容，确定正极感应电极上的馈通耦合电流；根据第二驱动电压、第四驱动电压、第三驱动电极与负极感应电极之间的第三耦合电容以及第四驱动电极与负极感应电极之间的第四耦合电容，确定负极感应电极上的馈通耦合电流；根据正极感应电极上的馈通耦合电流与负极感应电极上的馈通耦合电流，确定总差分馈通耦合电流；基于总差分馈通耦合电流的频率与传感信号的频率之间的线性关系，对总差分馈通耦合电流、传感信号进行分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 一种微型电场传感器的馈通耦合分离方法及系统
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