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申请/专利权人：广州质谱技术有限公司
摘要：本实用新型用于气体流量控制设备领域，特别是涉及一种气量调节器，具有调节模块，包括基座，基座上设有第一进气口、第一出气口以及第二进气口和第二出气口，基座内部设有进气通道和出气通道，进气通道连通第一进气口和第二出气口，出气通道连通第二进气口和第一出气口；比例阀，安装在基座上，比例阀上设有第三进气口和第三出气口，第三进气口与第二出气口连通，第三出气口与第二进气口连通；气阻片，安装在基座上，气阻片上设有出气孔。通过调节比例阀可以控制从比例阀流出的气体的气量，从出气孔流出的气体也更加稳定，这种气量调节器通过调节比例阀能够实现精确的气量调节，同时气阻片的设置能够使得出气更加稳定。
主权项：1.一种气量调节器，其特征在于：所述气量调节器具有调节模块，所述调节模块包括基座，所述基座上设有第一进气口、第一出气口以及第二进气口和第二出气口，所述基座内部设有进气通道和出气通道，所述进气通道连通所述第一进气口和所述第二出气口，所述出气通道连通所述第二进气口和所述第一出气口；比例阀，所述比例阀安装在所述基座上，所述比例阀上设有第三进气口和第三出气口，所述第三进气口与所述第二出气口连通，所述第三出气口与所述第二进气口连通；气阻片，所述气阻片安装在基座上，所述气阻片上设有出气孔，所述出气孔对准所述第一出气口，所述出气孔的孔径小于所述第一出气口的直径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州质谱技术有限公司 一种气量调节器
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